Daugeliui silicio nitrido komponentų reikia tankių 0,5 mm tikslumo skylių matricų, tokių kaip puslaidininkiniai vakuuminiai griebtuvai, zondo kortelių kreipimo plokštės, skysčių paskirstymo plokštės, keraminiai filtrai ir galios elektronikos substratai. Įprasti masyvo išdėstymai, įskaitant 49 × 49 arba 50 × 50 skylių modelius, derina didelį srauto pajėgumą ir pakankamą mechaninį stiprumą.
Išgręžti šimtus ar net tūkstančius tikslių skylių silicio nitride yra daug sudėtingiau nei paprasčiausiai išgręžti{0}}skyles. Stabiliai gamybai reikalinga puiki šilumos, tikslumo ir proceso nuoseklumo kontrolė.
Keturi iššūkiaiTikslus silicio nitrido skylių gręžimas
1. Šiluminis stresas tankiuose skylių masyvuose
Nepertraukiamo gręžimo lazeriu metu aplink gretimas skyles kaupiasi šiluma. Silicio nitridas neišsklaido šilumos taip efektyviai kaip metalai, todėl tankios skylių matricos yra jautresnės vietiniam šiluminiam įtempimui.
Be optimizuoto proceso valdymo dėl per didelio karščio gali atsirasti mikro{0}}įtrūkimų, ypač kai sienelės storis tarp gretimų skylių tampa labai mažas.
2. Skylės kūgio valdymas
Įprastas vieno{0}}praėjimo lazeriu gręžimas dažnai sukuria kūgines skyles, kuriose įėjimo skersmuo yra didesnis nei išėjimo.
Naudojant vakuuminę adsorbciją, skysčių valdymą ar puslaidininkinius įrankius, per didelis kūgiškumas gali sumažinti funkcinį našumą ir nuoseklumą.
Todėl tiksliai gręžiant lazeriu svarbu sukurti beveik tiesias skylių sienas.
3. Naujo sluoksnio ir šiukšlių pašalinimas
Lazerinis gręžimas išgarina keramines medžiagas, todėl skylės viduje susidaro išlydytų dalelių ir šiukšlių.
Jei šie likučiai nepašalinami efektyviai, jie gali likti prilipę prie skylės sienelės, o tai turės įtakos paviršiaus kokybei ir padidins tolesnio apdorojimo reikalavimus.
Tinkama dujų pagalba ir optimizuotos gręžimo strategijos padeda pagerinti skylių švarą ir sumažina antrinės apdailos poreikį.
4. Pozicijos tikslumas dideliuose masyvuose
Norint apdoroti šimtus ar tūkstančius skylių vienoje keraminėje plokštėje, reikia puikaus padėties pakartojamumo.
Ilgų apdirbimo ciklų metu gali susikaupti net nedideli padėties nustatymo nuokrypiai, todėl gali sumažėti bendra didelių skylių matricų nuoseklumas.
Naudojant puslaidininkius ir tiksliąją keramiką, stabilaus padėties tikslumo palaikymas visame ruošinyje dažnai yra svarbiau nei vien gręžimo greitis.
WHYC lazerinis sprendimas, skirtas 0,5 mm tikslumo skylių gamybai
WHYC Laser sukūrė keraminius lazerinius gręžimo sprendimus, skirtus tiksliai silicio nitrido skylėms.
Mūsų apdorojimo strategija sujungia optimizuotus lazerio parametrus su tiksliu judesio valdymu, kad pagerintų gręžimo kokybę ir gamybos stabilumą.
Kelių{0}}pakopų gręžimas lazeriu
Užuot pašalinus visą medžiagą per vieną operaciją, gręžimo procesas baigiamas keliais kontroliuojamais etapais, sumažinant šiluminį įtempį ir pagerinant skylių geometriją.
Optimizuota dujų pagalba
Aukšto-slėgio pagalbinių dujų sistema gręžimo metu nuolat šalina šiukšles, padeda sukurti švaresnes skylių sienas ir sumažina antrinio valymo poreikį.
Aukštos{0}}Precision Motion Platform
Tvirta mašinos konstrukcija, linijinių variklių technologija ir uždaros{0} kilpos padėties nustatymo sistemos užtikrina stabilų didelių skylių masyvų tikslumą per ilgus gamybos ciklus.
Įprastų skylių masyvų apdorojimo paketai
WHYC Laser siūlo optimizuotus procesų paketus įprastoms silicio nitrido skylių masyvo konfigūracijoms, padedančius klientams sutrumpinti proceso kūrimo laiką ir pagreitinti gamybą.
Šiandien 0,5 mm tikslumo skylių apdorojimas tapo vienu išWHYC Laser brandūs gamybos sprendimai, palaikanti tiek įrangos klientus, tiek gamybos pagal sutartis projektus.
Tipinės programos
YCLaser'ssprendimai plačiai taikomi silicio nitrido komponentams tiek prototipų pavyzdžiams, tiek{0}}masiškai gaminamoms dalims; Lazerinis gręžimas užtikrina lankstų, didelio{1}}efektyvumo apdorojimą pažangiai keramikos gamybai.
Teisingas pasirinkimasSilicio nitrido lazerinio gręžimo sistema
Rinkdamiesi lazerinio gręžimo sprendimą, gamintojai turėtų įvertinti didesnį nei minimalų skylės dydį.
Svarbūs svarstymai apima:
>>Gamybos stabilumas
>>Skylės konsistencija
>>Šiluminės žalos kontrolė
>>Skylės kūgis
>>Padėties tikslumas
>>Proceso pakartojamumas
>>Techninė pagalba ir taikymo patirtis
Patikima lazerinio gręžimo sistema turėtų nuosekliai užtikrinti kokybiškus{0}}gamybos rezultatus, o ne sutelkti dėmesį tik į laboratorijos darbą.
Išvada
Gręžimas silicio nitrido lazeriu yra daug pastangų reikalaujantis procesas, reikalaujantis kruopštaus šiluminių efektų, skylių geometrijos ir padėties nustatymo tikslumo kontrolės.
Susisiekite su WHYC Laser aptarti savo silicio nitrido lazerinio gręžimo projektą arba paprašyti pavyzdžio įvertinimo tiksliam keraminių skylių apdorojimui. (nemokamas mėginio bandymas)
